光刻機(jī)這賽道，秦淼還真知道一些！

此時，聽到徐教授的問話，他首先反問了起來：“我們的激光器，用的是什么技術(shù)？”

光刻機(jī)的光源就是最重要的一環(huán)，最早的接觸式光刻機(jī)，用的是汞燈，光源很簡單，但是光源很容易衍射，也就是無法光刻太細(xì)的電路，否則就會模糊，到了后來又用了準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生的i線，提升了生產(chǎn)工藝。

但是，這些都不是最完美的，所以，隨著工藝的提升，激光器也在不斷變化，先后有了氟化氪，也就是krf光源，再后來是氟化氬，也就是arf。

后世東方在極紫外光刻機(jī)，也就是euv光刻機(jī)上遭到制裁無法拿到貨之后，采用多次重復(fù)曝光的套刻方式，成功地用arf光源的光刻機(jī)，實(shí)現(xiàn)了5納米的手機(jī)芯片的生產(chǎn)。

所以，己方的下一代光刻機(jī)，就不用走一步步過渡路線了，直接一步到位，要是在八十年代就搞出來哪怕100納米的工藝，不得讓西方絕望得跳樓？

“目前我們用的是氦氖激光器作為光源，這屬于第一代氣體激光器，我們清華大學(xué)光學(xué)系研究得比較透，接下來，計(jì)劃使用氟化氪，在光刻機(jī)領(lǐng)域里，被很多人認(rèn)為這工藝是最可能的下一個節(jié)點(diǎn)……”

“如果造氟化氬激光器的話，難度會大嗎？”

“這……”徐教授還真沒準(zhǔn)備，他思考片刻：“你稍等，我去問問?！?

說完，徐教授拿起了電話：“喂，光學(xué)系嗎？我是精密儀器系的老徐，我找你們了解個情況……”

這就是大學(xué)搞研發(fā)的好處，不管想要搞什么，都會在本校找到相關(guān)研發(fā)人員！

放下電話，徐教授滿臉興奮：“這激光器沒問題，光源是193納米的，可以直接光刻0.2微米的芯片，如果多次套刻，幾十納米的芯片都能造出來……”

現(xiàn)在，國際上主流的芯片制程，還是5微米的，清華大學(xué)的光刻機(jī)能達(dá)到微米，已經(jīng)很逆天了，如果研發(fā)出來新款光刻機(jī)，直接過渡到0.2微米……這就是進(jìn)入了納米時代了??！

倪工滿臉興奮，他已經(jīng)預(yù)感到東方芯片工業(yè)要騰飛了！

芯片制程越高，同一塊晶圓上能做出的芯片就越多，芯片的成本也就越低，同時，線路細(xì)了之后，發(fā)熱量也小，意味著芯片的性能會更高。

所以，各國都在研究更加先進(jìn)的芯片工藝，咱們東方在這個行業(yè)里，原本是落后的，現(xiàn)在，哈工大摻和進(jìn)來，這領(lǐng)域，要達(dá)到世界第一了！

倪工對未來充滿信心。

“不過，光源改變，光刻膠等等產(chǎn)品，都要跟著改變……”徐教授還有些擔(dān)心。

“沒問題，咱們哈工大找配套的供貨商，如果沒有人供貨，那咱們自己研發(fā)！”

光刻機(jī)，只是芯片產(chǎn)業(yè)的一環(huán)，還有很多產(chǎn)業(yè)，都是能被卡脖子的，后世，南棒子的芯片產(chǎn)業(yè)一流，三星更是大公司，被島國卡脖子，光刻膠斷供，立馬就著急了！

一種光源，配套一種光刻膠，這東西，其實(shí)技術(shù)難度不大，關(guān)鍵是全球產(chǎn)業(yè)鏈，幾個壟斷巨頭出來，其他企業(yè)就沒必要搞了，什么時候被斷供，才會幡然醒悟，多花錢也要自己搞！

徐教授點(diǎn)頭：“嗯，接下來就是更加精密的伺服系統(tǒng)，這個是我們精密儀器系的強(qiáng)項(xiàng)，還有一些特制的鏡頭，需要我們最熟練的工匠來打磨，秦淼同志，你放心，只要一樣資金到位，我們不會掉鏈子的！”

秦淼點(diǎn)頭：“我們保證充沛的研發(fā)資金，咱們共同合作，把東方的芯片產(chǎn)業(yè)，做到世界第一！”

“嗯?！毙旖淌邳c(diǎn)頭，心中涌起一股股暖流，國內(nèi)企業(yè)不支持，哈工大支持！以后誰再說哈工大的壞話，自己會和他拼命……