清華大學,9003基地,精密儀器實驗室。
已經(jīng)是冬季,外面開始飄著雪花,但是,這實驗室內(nèi)的溫度,卻一直保持在20攝氏度,甚至,正負都不能超過0.1攝氏度,而且,空氣非常潔凈,防塵標準100級,也就是1立方米的空氣中,浮塵微粒的數(shù)量不能超過100!
時間已經(jīng)到了下午六點鐘,穿著白大褂的中年人,依舊還在實驗室里工作著,他的面前是一臺計算機,計算機的旁邊,擺著一個大型設備,右下角的鋁制銘牌上,刻著一行小字。
自動對準分步投影光刻機。
沒錯,這就是后世讓東方時時刻刻被西方卡脖子的光刻機,而在這八十年代,東方的光刻機技術(shù),并不比西方差!
叮鈴鈴……
“喂?!敝心耆四闷痣娫挘骸笆裁矗亢?,知道了,我這就出去?!?
小心翼翼地關(guān)閉機器,通過了強力風道過濾通道,中年人來到了外面的辦公室,里面,一名老干部已經(jīng)等在了那里。
“徐教授,這次……唉!”
徐端頤,1955年從貴陽一中畢業(yè)之后,以優(yōu)異的成績考入了清華大學,1961年在清華精密儀器系畢業(yè)后就留校任教。
在那個特殊的時代里,他去了鄱陽湖的農(nóng)場,接受勞動改造,他原本以為,這輩子就要當農(nóng)民工了,直至某一天深夜,接到首都的電報,他緊急回首都,才知道,國家的半導體工業(yè)和國防工業(yè),急需光刻機!
于是,當時還是助教的他,接下了這個艱巨的任務。
清華大學全力支持,精密儀器系大樓建成之后,大樓一層就裝修成了精密光學儀器加工工廠,也就是9003實驗基地,系主任沈釗兼任廠長,學校的工程技術(shù)隊伍都歸屬他指揮,幾百人的研發(fā)團隊就這樣成立了!
光刻機,制造復雜,難度很大,巴統(tǒng)將它列為高端產(chǎn)品,對東方實行技術(shù)封鎖,在與世隔絕的情況下,徐教授帶著團隊,從氦氖激光器開始做起,精密導軌、絲杠、滾珠、步進電機、數(shù)字控制用的計算機、光學系統(tǒng)、大孔徑的投影物鏡等等……
經(jīng)過努力,東方第一臺自動光刻機就此誕生!
之后,徐教授再接再厲,繼續(xù)研制更加先進的分步投影光刻機,簡單來說,就是把芯片分成一塊塊的,每次只光刻一部分,隨著加工精度的不斷提升,這是必然。
1980年,這種光刻機研發(fā)成功,加工的最小線寬達到了0.8微米,可以說,這款光刻機的研發(fā)成功,解決了東方芯片工業(yè)最大的難題,用十來年不成問題!
要知道,八十年代末期的486處理器,用的也不過是1微米工藝!
但是……
已經(jīng)升為副校長的沈釗,臉上表情復雜:“咱們親自過去,找了魔都的無線電廠,他們原本說得好好的,要采購咱們的光刻機,結(jié)果……”
“他們寧可要國外的性能更差的產(chǎn)品,也不愿意要我們清華大學的先進光刻機?”徐教授的語氣沉重。
“是啊,原本說得好好的,沒想到……唉,要是咱們沒去參加巴黎國際工業(yè)展覽會就好了,不過……那可是政治任務,咱們……”