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第232章 徐教授,你的光刻機(jī)我們買了!

清華大學(xué),9003基地,精密儀器實驗室。

已經(jīng)是冬季,外面開始飄著雪花,但是,這實驗室內(nèi)的溫度,卻一直保持在20攝氏度,甚至,正負(fù)都不能超過0.1攝氏度,而且,空氣非常潔凈,防塵標(biāo)準(zhǔn)100級,也就是1立方米的空氣中,浮塵微粒的數(shù)量不能超過100!

時間已經(jīng)到了下午六點鐘,穿著白大褂的中年人,依舊還在實驗室里工作著,他的面前是一臺計算機(jī),計算機(jī)的旁邊,擺著一個大型設(shè)備,右下角的鋁制銘牌上,刻著一行小字。

自動對準(zhǔn)分步投影光刻機(jī)。

沒錯,這就是后世讓東方時時刻刻被西方卡脖子的光刻機(jī),而在這八十年代,東方的光刻機(jī)技術(shù),并不比西方差!

叮鈴鈴……

“喂?!敝心耆四闷痣娫挘骸笆裁??好,知道了,我這就出去?!?

小心翼翼地關(guān)閉機(jī)器,通過了強(qiáng)力風(fēng)道過濾通道,中年人來到了外面的辦公室,里面,一名老干部已經(jīng)等在了那里。

“徐教授,這次……唉!”

徐端頤,1955年從貴陽一中畢業(yè)之后,以優(yōu)異的成績考入了清華大學(xué),1961年在清華精密儀器系畢業(yè)后就留校任教。

在那個特殊的時代里,他去了鄱陽湖的農(nóng)場,接受勞動改造,他原本以為,這輩子就要當(dāng)農(nóng)民工了,直至某一天深夜,接到首都的電報,他緊急回首都,才知道,國家的半導(dǎo)體工業(yè)和國防工業(yè),急需光刻機(jī)!

于是,當(dāng)時還是助教的他,接下了這個艱巨的任務(wù)。

清華大學(xué)全力支持,精密儀器系大樓建成之后,大樓一層就裝修成了精密光學(xué)儀器加工工廠,也就是9003實驗基地,系主任沈釗兼任廠長,學(xué)校的工程技術(shù)隊伍都?xì)w屬他指揮,幾百人的研發(fā)團(tuán)隊就這樣成立了!

光刻機(jī),制造復(fù)雜,難度很大,巴統(tǒng)將它列為高端產(chǎn)品,對東方實行技術(shù)封鎖,在與世隔絕的情況下,徐教授帶著團(tuán)隊,從氦氖激光器開始做起,精密導(dǎo)軌、絲杠、滾珠、步進(jìn)電機(jī)、數(shù)字控制用的計算機(jī)、光學(xué)系統(tǒng)、大孔徑的投影物鏡等等……

經(jīng)過努力,東方第一臺自動光刻機(jī)就此誕生!

之后,徐教授再接再厲,繼續(xù)研制更加先進(jìn)的分步投影光刻機(jī),簡單來說,就是把芯片分成一塊塊的,每次只光刻一部分,隨著加工精度的不斷提升,這是必然。

1980年,這種光刻機(jī)研發(fā)成功,加工的最小線寬達(dá)到了0.8微米,可以說,這款光刻機(jī)的研發(fā)成功,解決了東方芯片工業(yè)最大的難題,用十來年不成問題!

要知道,八十年代末期的486處理器,用的也不過是1微米工藝!

但是……

已經(jīng)升為副校長的沈釗,臉上表情復(fù)雜:“咱們親自過去,找了魔都的無線電廠,他們原本說得好好的,要采購咱們的光刻機(jī),結(jié)果……”

“他們寧可要國外的性能更差的產(chǎn)品,也不愿意要我們清華大學(xué)的先進(jìn)光刻機(jī)?”徐教授的語氣沉重。

“是啊,原本說得好好的,沒想到……唉,要是咱們沒去參加巴黎國際工業(yè)展覽會就好了,不過……那可是政治任務(wù),咱們……”

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