從美國到東方,用了足足二十天,從魔都到首都,只用了三四個(gè)小時(shí),看到來陽集團(tuán)給自己包機(jī),林本堅(jiān)的心中升起了莫名的感動(dòng)。
第二天,來光。
“來,讓我們用熱烈的掌聲,歡迎林博士的到來!”徐教授第一個(gè)鼓掌。
“徐教授,當(dāng)年,你在光刻機(jī)上有很深的造詣,硅谷這邊,還有島國那邊,有很多光刻機(jī)專家,對你都是贊不絕口,聽說你后來轉(zhuǎn)行研究光盤,大家伙都很失望,你要是到硅谷……”
林本堅(jiān)是光刻機(jī)領(lǐng)域的技術(shù)大能,他此時(shí),不知覺中,就是一幅高高在上的態(tài)度,俯瞰蕓蕓眾生一樣。
徐教授笑了笑:“我生在這里,長在這里,絕對不會(huì)把自己知識(shí)財(cái)富,貢獻(xiàn)給西方的,還好,我們有了來陽集團(tuán),對了,我們還是說技術(shù)吧,我給您介紹一下我們的計(jì)劃?!?
“好,讓我聽聽你們距離世界先進(jìn)水平還有多少年的差距。”
“目前,華清大學(xué)高能物理研究所已經(jīng)能生產(chǎn)arf激光器,光學(xué)專業(yè)那邊已經(jīng)能磨制相關(guān)的鏡頭,自動(dòng)化專業(yè)那邊已經(jīng)能完成……”
林本堅(jiān)睜大了眼睛:“這么說,你們已經(jīng)能制造193納米光刻機(jī)了?”
“是的,我們計(jì)劃在一年之內(nèi),完成樣機(jī)調(diào)試,三年內(nèi),形成產(chǎn)業(yè)化,這樣可以將我們國產(chǎn)的芯片技術(shù)推進(jìn)到90納米。”
現(xiàn)在只能生產(chǎn)微米芯片,也就是180納米,這主要還是光刻機(jī)的限制,數(shù)量不夠,如果多次投影曝光的話,會(huì)嚴(yán)重占用產(chǎn)能,等以后,相關(guān)光刻機(jī)大量投產(chǎn),利用這種光刻機(jī),就能繼續(xù)推進(jìn)工藝進(jìn)展!
130納米、90納米……這些工藝制程都能攻克!
當(dāng)然,光刻機(jī)只是其中一步,其他的工藝,都需要中芯國際來研究,這個(gè)不是說句話就能完成的。
“那之后的技術(shù)路線呢?”
“我們計(jì)劃使用浸潤式光刻機(jī)技術(shù),通過在鏡片和光源之間通入水,來讓光源縮短到134納米,解決65納米和45納米制程的需求?!?
林本堅(jiān)瞬間一喜:“你們也想要用浸潤式方案?”
“沒錯(cuò),我們認(rèn)為,這是最合適的技術(shù)路線,現(xiàn)在,我們已經(jīng)做了大量的預(yù)研工作,您請看大屏幕?!?
ppt投影上去,林本堅(jiān)看著那些方案,和自己研究的簡直一模一樣!
“沒想到,沒想到,這里能成為我發(fā)展的舞臺(tái)!”林本堅(jiān)喃喃地說道,語氣中帶著激動(dòng)。
當(dāng)初選擇來東方,是無奈下做出的,是為了活命,現(xiàn)在,來到這里,才突然發(fā)現(xiàn),居然能發(fā)揮自己的專長!自己苦思冥想的那些東西,和這里人的想法不謀而合!
太棒了!
今后,就扎根在這里,做出世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)來!
他不是沒有提過浸潤式的方案,但是,當(dāng)他說出來的時(shí)候,所有人都會(huì)認(rèn)為這是天方夜譚!而這里,居然在踏踏實(shí)實(shí)地走這條路線!
之前只是能留住他的人,現(xiàn)在,這番展示,徹底留住了他的心!
他當(dāng)然不會(huì)知道,當(dāng)那些自稱龍組的人到他家之后,搜出來光盤,直接就復(fù)刻了一份,原版在他的手提箱里,復(fù)制出來的光盤,早就送到了這里,現(xiàn)在大家伙說的,都是他自己的技術(shù)!
技術(shù)大牛就此留下,東方的來光,取代了amsl,即將成為全世界光刻機(jī)的大佬!
_l